เครื่องตัดเลเซอร์ที่มีความแม่นยำสำหรับวัสดุแข็งและเปราะส่วนใหญ่จะใช้สำหรับการตัดเฉือนไมโครด้วยเลเซอร์ที่มีความแข็งสูงและวัสดุเปราะสูง เช่น เซรามิก แซฟไฟร์ เพชร เหล็กแคลเซียม เหล็กทังสเตน อลูมิเนียมไนไตรด์ ซิลิคอนไนไตรด์ แกลเลียมอาร์เซไนด์ และวัสดุอื่น ๆ